喜开理减压阀选型与安装

无润滑脂规格、紧凑、省空间型的小型直动减压阀。

通过使用快插接头，提高了操作性。适用于要求省空间、精度、无润滑脂的半导体制造的后工序、IT领域、小物件装配等。

与流量大小无关，重复精度为满量程的±0.5％以内，

灵敏度为满量程的0.1％以内。

重复精度:满量程的±0.5％以内。

灵敏度:满量程的0.2％以内。

可用于的张力控制等各种用途。

适于平衡器的长寿命·大流量】(RP2000系列）

实现高性能·长寿命·大排气流量。

采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。

采用禁油规格•不锈钢阀体，适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。

实施清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的。

对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。

（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）

拧松面板安装用螺母后，螺母自身起到千斤顶功能，可轻松拆下旋钮。安装到面板时，可使用螺母进行固定。安装L形支撑件时也同样可以。

尺寸统一，选择项、产品种类丰富，系统构成应对简便。

通过变更滑键的组装方向，可任意从锁定型变更为非锁定型。

可与真空过滤器VFA3000或VFA4000进行模块化连接。

喜开理减压阀选型与安装